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製造できるのは世界で4社だけ❗️ - sirius

2023/06/09 (Fri) 14:20:06


製造できるのは世界で4社だけ

半導体の製造工程には、ウェハーに回路を形成する「前工程」と、チップを切り分け外部のデバイスとの配線を施し、人工樹脂製のパッケージで封入する「後工程」がある。野村マイクロが装置製造を手がけている超純水は、主に前工程で使われる。

回路形成時にウェハーに残った材料カスや薬品を洗浄する必要があるのだが、回路線幅はナノメートル(ナノは10億分の1)レベルのため、ごく小さな微粒子が残っても半導体の不具合につながる。洗浄する水にも、50メートルプールに不純物はわずか耳かき一杯分というレベルの、高い純度が求められる。

超純水の製造には、浸透圧の作用を利用した濾過膜や、水中の不純物を吸着する合成樹脂、中空糸製の濾過膜などが組み込まれたプラント(超純水装置)が使われる。野村マイクロなどの超純水装置メーカーは、濾過膜や合成樹脂を化学メーカーなどから調達し、超純水装置を設計・建設する。

超純水装置を半導体関連向けに出荷しているのは、世界でも野村マイクロ、栗田工業(6370)、オルガノ(6368)、そしてカナダのOVIVO(オビボ)だけだといわれる。超純水装置は半導体メーカーやファウンドリー(受託製造会社)の依頼に従って、水の仕様や装置の作り込みが求められる。新たな顧客を開拓するのは難しく、顧客企業も他社へ乗り換えることが少ない。


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